據(jù)悉，美國相干公司新推出的Coherent Monaco紫外飛秒激光器，具有極佳的能量穩(wěn)定性以及最小的熱影響區(qū)（HAZ），可在微電子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)高通量、高精度的切割、劃線和鉆孔等。這種特性，使得該激光器適用于OLED切割、晶圓切割、薄聚合物薄膜和薄膜的切割、柔性電路和低介電常數(shù)材料的加工等。
雖然UV（345 nm）飛秒激光器比其他超短脈沖激光器具有更低的熱影響區(qū)，但由于其可靠性無法令人滿意，它們在工業(yè)市場的部署速度已經(jīng)放慢。相比之下，Monaco紫外飛秒激光器則采用了相干公司其他高可靠性超快和紫外激光器中采用的嚴(yán)格的HALT / HASS設(shè)計(jì)、制造和測試方法。它是第一款可以將熱影響區(qū)降低3倍以上的紫外飛秒激光器，同時(shí)提供了相干公司標(biāo)志性的工業(yè)級(jí)可靠性。
除了出色的可靠性外，Coherent Monaco紫外飛秒激光器的輸出還經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可提供脈沖能量和重復(fù)率（脈沖重復(fù)頻率為1.25 MHz時(shí)，周期為20μJ/脈沖）的最佳組合，最適合常用材料的燒蝕閾值。這使其能夠提高產(chǎn)量，同時(shí)還能提供比其他激光器更低的每瓦成本。而且，該單片式Monaco紫外飛秒激光器也是最緊湊（長度為963 mm，寬度為358 mm，高度為175 mm）的工業(yè)級(jí)飛秒紫外解決方案，簡化了系統(tǒng)構(gòu)建商的集成工序。
此外，Monaco紫外飛秒激光器還采用了與Monaco系列其他產(chǎn)品相同的強(qiáng)大軟件界面，使系統(tǒng)集成商和最終用戶可以輕松的使用該新型激光器。
